密封された装置内で、熱に安定な被滅菌物を対象にして適当な温度および圧力の飽和水蒸気で加熱することによって微生物を殺滅する方法である。本法はチャンバ(内缶)の空気と飽和蒸気が完全に置換することが重要で、被滅菌物すべてに飽和水蒸気が達することが必要である。この方法の利点は、急速に加熱できて、被滅菌物の深部にまで熱が素早く浸透して、耐熱性の芽胞形成菌を含め、すべての微生物を比較的短時間で確実に殺滅することができる点である。（高圧蒸気滅菌器をお勧めます）さらに、乾熱法に比べて、多くの器具、物品類、液状物質に適用可能であり、これらの材質劣化や変質なども比較的少なく、医療機関や医薬品製造現場で汎用されている。
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